相关光刻机上市公司有：
1、赛微电子300456：赛微电子（300456）10日内股价下跌9.43%，最新报20.120元/股，涨1.26%，今年来涨幅下跌-21.29%。
公司在EPS方面，从2019年到2022年，分别为0.18元、0.31元、0.31元、-0.1元。
公司长期为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该类业务一直为公司工艺门槛极高的优势业务。
2、上海电气601727：上海电气（601727）10日内股价上涨1.2%，最新报4.150元/股，跌0.72%，今年来涨幅下跌-0.48%。
公司在EPS方面，从2019年到2022年，分别为0.23元、0.25元、-0.64元、-0.23元。
母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东，上海微电子有光刻机业务。
3、京华激光603607：京华激光（603607）10日内股价下跌14.94%，最新报14.550元/股，跌1.17%，今年来涨幅下跌-27.2%。
京华激光在EPS方面，从2019年到2022年，分别为0.59元、0.6元、0.62元、0.7元。
公司控股的美国菲涅尔制版科技公司是一家多年从事微结构光学技术研发及相关设备制造和维护的企业，在微结构光学方面具有较强的研发实力，尤其在全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面研发成果突出，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用，公司在微结构光学铂金浮雕等方面从技术到设备再到产品生产整条产业链上处于行业领先水平。
4、东方钽业000962：东方钽业（000962）10日内股价下跌9.56%，最新报10.690元/股，跌1.49%，今年来涨幅下跌-15.04%。
在EPS方面，从2019年到2022年，分别为0.09元、0.11元、0.18元、0.39元。
子公司东方超导产品铌超导腔作为粒子加速器的核心部件，被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置。此前清华大学的一项研究描述了一种新型光源整合技术，首次展示了同步辐射光源与自由电子激光这两种主要加速器光源结合后的特性，或可用于实现大功率EUV光源。
